Z 轴高精度、紧凑型线性NM-080
压电陶瓷纳米台
高精度、高稳定性,性价比高 纳米压电平台,为科研和工业客户提供理想解决方案
Z 轴高精度、紧凑型线性NM-080
压电陶瓷纳米台
高精度、高稳定性,性价比高 纳米压电平台,为科研和工业客户提供理想解决方案
产品参数
NM-080紧凑型线性纳米定位台,沿Z方向可提供100μm或更大行程的运动。
其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定位应用的理想工具。Z轴纳米定位线性位移台是基于压电压电陶瓷驱动的线性位移台。
该系列纳米位移台采用高可靠多层低压压电叠堆陶瓷作为驱动元件,利用有限元优化的集成态挠性导向系统可确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦柔性机构,压电位移台无需维护,无磨损,并具有快速响应和快速稳定的性能,使其适用于动态过程,例如高频误差补偿,跟踪,快速步进或连续扫描。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器,可实现高精度和可重复的运动,还可以补偿压电陶瓷的的蠕变。传感器采用全闭环电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。
压电平台固定是通过移动面和底板上的螺纹孔实现的。若要安装到具有标准栅格的光学平台或其他组件上,请使用转接板转接。在紧固过程中,应避免过大的弯矩载荷和作用在移动面与外壳之间的侧向力,这些外力可能会损坏位移台。

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注:所有规格参数基于室温(22°C±3°C)测得,欲了解更多信息,请与我们联系。表中“-”表示为不适用。
1.尾缀“-S”为闭环,内置位置传感器。开环尾缀不带“-S,无线性误差、重复度数据。
2.最大驱动电压为-20V~+150V,对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0.+120V,更大行程请咨询。出厂为标称行程。
3.分辨率即定位噪声。因为压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。通常使用RMS(1σ)值进行测量和指定。
4.指通过干涉仪测得的压电平台可移动的最小步长值,它主要由压电控制器的DAC分辨率决定。最佳情况下,参数表中为16-Bit对应的位移步长值。
5.轴向载荷,更高的负载请咨询,注意超出标称负荷会对柔性机构造成损坏。
6.更长的线缆长度请咨询。
7.台体重量不包括线缆及连接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值;typ.表示标准典型数据值,检测报告中会给出实际的测量数据值。

产品尺寸:

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产品应用