※ 备注

1：水平放置下的中心垂直负载。

2：最小运动增量不等同于分辨率，最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说，系统分辨率远小于最小运动增量。考虑传动结构和编码器对系统误差的影响，直线电机位移台与步进电机位移台相比，其最小运动增量更加接近于分辨率。

3：精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据。

4：典型值和保证值的区别见技术指南。

5：最大速度为典型值，根据负载和控制器的不同会有区别。

产品详情：

高精度、结构紧凑、集成灵活

直线电机垂直升降台，专为需要高精度垂直定位的实验室和工业应用而设计。升降台采用直线电机驱动，具备高精度、高稳定性、低噪音等特点，结构紧凑，易于集成，提供多种行程和配置选择，满足多样化的应用需求。

主要特点:

多种行程可选，满足更多应用需求： 提供 50mm 和 100mm 两种行程选择，结构紧凑，可灵活集成于各种空间受限的应用场景。

精密结构，稳定可靠： 采用集成式一体化交叉滚柱导轨和高品质直线电机，结合标准化安装工艺，确保卓越的运动精度和长期稳定的可靠性，Pitch 和 Yaw 精度表现优异。

高分辨率，精细控制： 升降台采用直线电机驱动，拥有极佳的微步能力，配合高性能控制器，可实现微米级的精细定位，满足对极致精度的追求。

两种配重方案，适应不同应用环境： 可选配恒力弹簧或气缸配重，满足不同负载和速度需求，保证运动平稳、一致性高。

超静音运行，打造舒适环境: 超静音位移台，适用于对噪音敏感的实验室环境和高性能工业场所。

强大软件支持，轻松操控: 免费标准版 SDK，支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用户进行二次开发和系统集成。

高性能控制器，实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入，可满足各种复杂运动控制需求。(选配）

灵活通讯，无缝连接: 可选配 EtherCAT 总线控制，实现高速、稳定的数据传输。

产品应用：

精密Z轴 Precision Z-axis、高端仪器设备 High-end Equipment、半导体检测 Semiconductor Inspection、半导体切割 Semiconductor Cutting

 性能实测：

 产品尺寸：